فایل ورد Word بررسي تاثير مدت زمان رسوب دهي بر خواص لايه هاي نازک تيتانيم ايجاد شده با روش PVD

    —         —    

ارتباط با ما     —     لیست پایان‌نامه‌ها

... دانلود ...

توجه : این فایل به صورت فایل ورد (Word) ارائه میگردد و قابل تغییر می باشد


بخشی از متن فایل ورد Word بررسي تاثير مدت زمان رسوب دهي بر خواص لايه هاي نازک تيتانيم ايجاد شده با روش PVD :




نام کنفرانس, همایش یا نشریه : علوم و مهندسي سطح

تعداد صفحات :12

هدف از تحقیق حاضر بررسی تاثیر افزایش مدت زمان رسوب دهی و در نتیجه افزایش ضخامت بر خواص لایه های نازک تیتانیم ایجاد شده روی زیرلایه فولاد زنگ نزن 316L با استفاده از روش رسوب دهی فیزیکی بخار (PVD) است. به این منظور, عملیات رسوب دهی در مدت زمان های مختلف 5, 10, 15 و 20 دقیقه انجام شد تا لایه هایی با ضخامت های مختلف ایجاد شود. سپس ضخامت لایه های نازک تیتانیم با استفاده از دستگاه پروفیل سنج اندازه گیری و ترکیب شیمیایی آنها توسط روش توزیع انرژی پرتو X ((EDX تعیین شد. همچنین مورفولوژی لایه ها با استفاده از میکروسکوپ الکترونی روبشی گسیل میدانی (FESEM) و توپوگرافی آنها توسط میکروسکوپ نیروی اتمی (AFM) بررسی شد. ساختار لایه های نازک تیتانیم نیز با استفاده از روش پراش پرتو X ((XRD تعیین و استحکام چسبندگی آنها به زیرلایه توسط آزمون کیفی Heat & Quench بررسی شد. نتایج حاصل از این آزمون ها نشان داد که با افزایش مدت زمان رسوب دهی, ضخامت لایه های نازک تیتانیم از حداقل 88 nm به حداکثر 298 nm افزایش می یابد. همچنین اندازه دانه میانگین تیتانیم از حداقل12 nm به حداکثر 65 nm افزایش یافته و ساختار متراکم تر و یکنواخت تر می شود. مقدار زبری میانگین سطح لایه های نازک تیتانیم نیز از حداقل2.108 nm به حداکثر3.767 nm افزایش می یابد. به علاوه لایه های نازک تیتانیم دارای جهت ترجیحی (002) هستند و استحکام چسبندگی خوبی را به زیرلایه نشان می دهند.
کلید واژه: لایه های نازک تیتانیم, رسوب دهی فیزیکی بخار, مدت زمان رسوب دهی, خواص

لینک کمکی